2021年6月5日，深创投S基金出资受让上海半导体装备材料产业投资基金（简称“上海半导体装备材料基金”）的份额，投资金额2亿元。上海半导体装备材料基金总规模50.5亿元，国家大基金是其重要参与方。自运营以来，该基金在半导体材料和设备领域布局了多家重点企业。后续，深创投S基金将携手上海半导体装备材料基金，充分协调各自优势资源，在半导体领域进行协同投资和全方位合作。

此前，深创投S基金联合发起设立国内首只人民币架构的重组接续基金。深创投S基金自2020年正式运作以来，在S基金业务创新探索同时，积极与专业化头部GP建立合作生态。目前，深创投S基金已通过S基金业务，与国内多家生物医药、半导体集成电路、新消费等方向的头部GP实现深度联动。